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SuperViewW光學(xué)摩擦磨損形貌輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。

SuperViewW高精度光學(xué)3D輪廓測量儀實現(xiàn)各種精密器件及材料表面的亞納米級測量。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理，針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，其復(fù)合型EPSI重建算法解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。

SuperViewW光學(xué)非接觸式粗糙度3D輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學(xué)輪廓儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀粗糙度在線檢測設(shè)備基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。