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中圖儀器VT6000共聚焦晶圓溝槽輪廓尺寸測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現器件表面形貌3D測量。

中圖儀器白光干涉儀國產三維形貌儀SuperViewW是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

NS系列微納米測量接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。

NS系列納米臺階測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

VT6000高分辨率超景深共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，主要采用3D捕獲的成像技術顯微成像測量，具有較高的三維圖像分辨率。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

NS系列薄膜臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。