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NS系列高精度薄膜厚度臺(tái)階儀集成超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。

VT6000國(guó)產(chǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000共聚焦工件表面微觀形貌檢測(cè)顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW微納米白光干涉三維形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，可對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器NS系列探針式臺(tái)階儀薄膜表面粗糙度測(cè)試儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。