中圖儀器SJ6000高精密激光干涉測量儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000中圖激光干涉儀機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。
SJ6000中圖激光干涉儀測量機(jī)床精度集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí)。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
中圖儀器SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀測量機(jī)床精度以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、最高測速下分辨率高等特點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
國產(chǎn)機(jī)床激光干涉儀sj6000除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。
中圖儀器機(jī)床激光干涉儀sj6000采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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