SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差(螺距補償)、反向間隙修正提供依據。操作人員通過每個機床軸的補償值來消除機床定位系統中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償,可以將誤差降低到幾乎為零的程度,大大提高機床作業精度。
SJ6000光學干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償的重要性,而機床在裝配、加工、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀,來進行多種幾何量精度參數的測量以及動態性能的測試、分析。從宏觀角度來講,激光干涉儀對機床工具產業乃至整個制造工業的升級,都是功不可沒的。
SJ6000國產激光干涉儀品牌是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
SJ6000激光光學干涉儀是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000中圖激光干涉儀使用當前熱門的軟件界面開發工具,軟件界面人性化,操作簡單。將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)。配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度。
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