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中圖儀器SuperViewW1白光表面干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

SuperView W1白光干涉儀檢測設(shè)備分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測量過程，通過系統(tǒng)軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，實(shí)現(xiàn)了器件表面形貌3D測量的效率高與簡化性。

?現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。SuperView W1白光干涉儀檢測儀器實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

中圖儀器利用客戶現(xiàn)場一臺已經(jīng)廢棄的三坐標(biāo)平臺進(jìn)行氣浮隔振改造，在完成隔振模塊和WX-100白光干涉儀便攜式測頭的安裝后，客戶獲得了一臺具有超大尺寸平臺和負(fù)載的高精度白光干涉儀。

Super View白光干涉儀國內(nèi)品牌采用的測量方式是非接觸無損測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。集合了自身白光干涉三維重建技術(shù)和微納米顯微測量三維軟件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，比肩進(jìn)口品牌，讓輪廓測量價(jià)格*為實(shí)惠。

中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測量，具有三維形貌測量和圖像分析的功能。適合檢測的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類這四個領(lǐng)域。