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高精密三坐標測量機主要用于機械、汽車、航空、軍工、家具、工具原型、機器等中小型配件、模具等行業中的箱體、機架、齒輪、凸輪、蝸輪、蝸桿、葉片、曲線、曲面等的測量。還可用于電子、五金、塑膠等行業中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務。

中圖儀器Mars系列國產高精度三坐標測量機是移動橋式的三坐標測量機。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。儀器結構簡單、緊湊。上下料有比較大的空間。

Mars系列自動光學三坐標測量機以Z軸為主軸在垂直方向移動，水平梁采用德國海德漢光柵尺，具有高精度和長時間的穩定性，垂直于Y軸且被兩支柱支撐于兩端；氣浮檢測安全裝置保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。

Mars系列超高精度三坐標測量機導軌采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性。具有產品檢驗以及優化設置等附加功能，并且準確度、靈活性較高，被廣泛應用于汽車、飛機等行業的葉片和齒輪的測量。

Mars系列高精度高速三坐標測量機采用中圖儀器自主研發的設計與測量系統，結合多樣化配置，可滿足不同的測量需求。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。

中圖儀器Mars系列精密移動橋式結構三坐標測量機三軸均采用低熱膨脹系數的花崗巖導軌，機器具有良好的溫度適應性，抗時效變形能力。可用于機械制造、汽車工業、電子工業、航空航天工業以及計量檢測等領域，是現代工業檢測和質量控制的重要檢測設備。