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3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中。

SuperViewW1光學輪廓儀器廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。

SuperViewW1光學表面輪廓測量儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

SuperViewW1表面光學輪廓儀在微電子、微機械、微光學等領域，表面光學輪廓儀可以提供更高精度的檢測需求。還可以用自動多區域測量功能，在樣品表面抽取多個測量區域進行測量，從而對樣品進行評估分析。可以提供更高精度的檢測需求。

隨著白光干涉測量技術的發展和完善，白光干涉儀已經得到了廣泛的應用。在微電子、微機械、微光學等領域，中圖的光學式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測需求。

中圖SuperView W1 3d光學輪廓儀檢測儀器設備的光學系統基于無限遠顯微鏡系統。通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉輪廓儀。各類干涉物鏡還決定了系統很多關鍵性能，如光學分辨率，工作距離，齊焦距離，坡度能力，視場范圍等等。中圖儀器提供豐富的各類物鏡選擇，以滿足最挑戰的測試需求。