中圖儀器W1光學全自動三次元輪廓測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高,且其隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得高測量重復性。
光學掃描式成像測量機輪廓儀,以光學成像測量系統為基礎,配合高精度運動機構和花崗巖龍門式底座,實現了測量精度、速度、穩定的**結合;結合高精度圖像分析算法,并融入閃測原理,在測量范圍內,任意擺放工件位置、方向、角度,儀器都可自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成,真正實現快速精準測量。
SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。
SuperViewW1國產3d光學輪廓儀器是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量,主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓,主要用于超精密加工行業。
SuperViewW1光學表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
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