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光學(xué)3D表面輪廓測量儀，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。 非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀國內(nèi)品牌的重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓測量儀品牌由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌，主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等領(lǐng)域。

OP光學(xué)輪廓儀主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓，也能測量晶圓翹曲度，適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。也稱為白光干涉儀 (WLI)，是一款以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點處于光強最大時的位置，完

除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，W1三維光學(xué)輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)表面3d輪廓測量儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。