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SuperViewW13D光學白光干涉儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測,具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點。它特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
SuperViewW1粗糙度光學輪廓儀的載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達0.1nm。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1光學三維3D表面輪廓測量儀在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合下,分辨率可達0.1nm。
SuperViewW1光學三維輪廓儀檢測儀器對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
SuperViewW1三維白光輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。
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