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中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)

簡要描述:SJ6000中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-11
  • 訪  問  量:617

詳細介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

SJ6000中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。

中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)

產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;

(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。

中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)

SJ6000中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


線性測量配置及使用方法

線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

中圖激光干涉儀機床校準補償系統(tǒng)

線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。


部分技術(shù)指標

主機

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動態(tài)采集頻率:50 kHz

預熱時間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH


環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa


線性測量距離:(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍:±10°

平面度測量范圍:±1.5mm

直線度測量范圍:±3mm

垂直度測量范圍:±3/M mm/m


便攜箱尺寸:613*460*230mm

標準配置重量:18kg

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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