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超高精度激光干涉儀

簡要描述:SJ6000超高精度激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優(yōu)點。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-11
  • 訪  問  量:887

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

SJ6000超高精度激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優(yōu)點。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。

超高精度激光干涉儀

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。


功能廣

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

超高精度激光干涉儀

軟件強

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。


SJ6000超高精度激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

超高精度激光干涉儀


部分技術(shù)指標(biāo)

主機

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動態(tài)采集頻率:50 kHz

預(yù)熱時間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH


環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa


線性測量距離:(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍:±10°

平面度測量范圍:±1.5mm

直線度測量范圍:±3mm

垂直度測量范圍:±3/M mm/m


便攜箱尺寸:613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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