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3d形貌共聚焦光學顯微鏡

簡要描述:VT6000系列3d形貌共聚焦光學顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-08-11
  • 訪  問  量:530

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

VT6000系列3d形貌共聚焦光學顯微鏡以共聚焦技術為原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它可測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。

3d形貌共聚焦光學顯微鏡

產品功能

1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量;

3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能;

4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;

5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;


應用領域

對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

3d形貌共聚焦光學顯微鏡

應用行業

VT6000系列3d形貌共聚焦光學顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


功能特點

1、測量模式多樣

單區域、多區域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇,適應多種現場應用環境;

2、雙重防撞保護功能

Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能,雙重保護;

3、分析功能豐富

3D:表面粗糙度、平整度、孔洞體積、幾何曲面、紋理方向、PSD等分析;

2D:剖面粗糙度、幾何輪廓測量、頻率、孔洞體積、Abbott參數等分析。

3d形貌共聚焦光學顯微鏡


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