簡要描述:SJ6000納米精度激光干涉儀軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
SJ6000納米精度激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優(yōu)點。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。
1、可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
2、可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3、可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量;
4、可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
5、可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
6、具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
7、支持手動或自動進行環(huán)境補償。
SJ6000納米精度激光干涉儀檢測集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。
線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,即:被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點,當(dāng)運動軸移動到設(shè)定的定位點時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000測量軟件進行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標(biāo)、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
主機 | 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz | |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ | |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ | |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH | |
環(huán)境補償單元 | 空氣溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃ |
材料溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃ | |
空氣濕度傳感器 | ±6%RH (0~95)%RH | |
大氣壓力傳感器 | ±0.1kPa (65~115)kPa | |
線性測量 | 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ | |
測量分辨力 | 1nm | |
測量速度 | 4m/s |
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