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三維白光輪廓儀

簡要描述:SuperViewW1三維白光輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:771

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

SuperViewW1三維白光輪廓儀是利用白光干涉掃描技術為基礎,用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。


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產品性能

縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關

掃描幀速:50FPS/s

粗糙度重復性:0.005nm(依據ISO 25178-2012)

光學分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關

至大點數:1048576(標準)

臺階測量:準確度≤0.3%,重復性≤0.08%1σ


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產品特點

參數測量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網打盡;

環境噪聲檢測:實時監測,納米波動,也無可藏匿;

雙重防撞保護:軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;

自動拼接:3軸光柵閉環反饋,讓3D拼接“天衣無縫";

雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動山搖,我自巋然不動"。


SuperViewW1三維白光輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。

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