簡要描述:中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
中圖儀器3d輪廓掃描儀通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),其分辨率可達0.1nm。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝樱瑫r內部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。
1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
在3C領域,可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業(yè),可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業(yè),可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業(yè),可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領域,可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。
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