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光學(xué)3d表面輪廓儀器

簡要描述:SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量,主要測量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓,主要用于超精密加工行業(yè)。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-08-09
  • 訪  問  量:730

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡,因而可直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測樣品反射率:0.05%-100

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


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SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用經(jīng)國家計(jì)量檢測研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件,采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,測量精度要求為<0.75%,重復(fù)精度要求<0.1%(1σ)(測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差)。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


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SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量,主要測量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓,主要用于超精密加工行業(yè)。


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