中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達(dá)數(shù)納米，線性精度可達(dá)亞納米級別。采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，因而可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備的精密核心部件均外購，核心器件價格昂貴，包括掃描電機和鏡頭，另外如此高精度儀器，在機械零部件的加工要求上均有高要求，同時對系統(tǒng)控制、軟件上都有非常高的要求。

測量軟件和分析軟件整合為一體，基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算能力。一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)，實現(xiàn)快速批量測量。

安裝和使用環(huán)境要求

理想使用環(huán)境：無強磁場，無振動，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘

相對濕度：40-60%，無凝結(jié)

如現(xiàn)場環(huán)境不理想，需要對實際使用環(huán)境進行評估，其中環(huán)境噪聲（地面振動、聲波噪聲）不能過大。

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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