中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級數據處理與分析的光學測量儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

粗糙度分析操作步驟：

1. 將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；

2. 將夾具放置在載物臺上；

3. 檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

4. 使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5. 完成掃描設置和命名等操作；

6. 點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7. 進入數據處理界面，點擊“去除外形"，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8. 進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型；

9. 如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；

10. 進入數據處理界面，點擊“提取剖面"圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取；

11. 進入分析工具界面，點擊“參數分析"圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。

應用

微光學器件粗糙度

光學鏡片表面粗糙度測量

手機配件表面粗糙度輪廓測量

中圖儀器3d形貌輪廓儀雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。