使測量速度、精確度都大大提高。新機床出廠前都要進行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，現在大多使用激光干涉儀進行；不管是三軸聯動、五軸聯動還是九軸聯動數控機床，機床在進行了長時間運行加工都會因為導軌滾珠絲桿的磨損等綜合因素，有一定的偏差，導致數控機床的加工精度逐漸偏離標準。激光干涉儀的用途就是專門用來測量、校準數控機床、三坐標、自動化設備等導軌的運動精度，尤其是在數控機床領域，激光干涉儀是強有力的檢測儀器。

中圖儀器研發生產的SJ6000深圳工業激光干涉儀，能對機床進行校準、補償，可以與機床系統對接進行自動化測量，將測量誤差導入到數控系統，實現精度自動補償。

產品參數

產品型號：SJ6000

產品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

技術參數

SJ6000深圳工業激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。也可以實現一次安裝即可沿任意方向的線性軸同時測量5個自由度的誤差，包括1個線性誤差、2個角度誤差和2個直線度誤差。

測量機床回轉軸精度

測量機床偏擺角度

數控機床精度校準

產品配置與證書

中圖儀器一直以實現高精密儀器自主化為己任，在以往中國市場都是國外品牌的激光干涉儀情況下，推出SJ6000激光干涉儀?？蛻魧ξ覀兊恼J可是我們不斷前行的動力！未來，中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術的發展，自強不息、知難而上、勇于創新！