中圖儀器SEM掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍,制作工藝相對簡單,材料成本也較低,使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高,從而降低了臺式掃描電鏡的設備采購成本。鎢燈絲電子槍可以在相對較低的真空度下工作,通常只需要兩級真空泵系統獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求,而不需要像場發射電子槍那樣的超高真空環境,這不僅降低了真空系統的復雜度和成本,還縮短了抽真空的時間,提高了工作效率。
中圖儀器SuperViewW白光干涉三維光學形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
CEM3000系列國內高分辨力掃描電鏡運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統,以便精準調節樣品倉內真空度,滿足不同樣品的觀測需求。此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術、能源等多個領域得到了廣泛應用。
CEM3000系列國產掃描電子顯微鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現微觀的形貌和元素分析等。
不同于立式電鏡,中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現出色的性能。
NS系列國產高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。
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