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VT6000中圖材料共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SuperViewW中圖科研級白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器VT6000高分辨率工業(yè)用共聚焦顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

NS系列臺階儀測量柔性電子器件薄膜厚度可用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位。

中圖儀器SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。