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SuperViewW系列高精密光學輪廓測量儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1半導體薄膜光學輪廓無損檢測儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

SJ5760-PR高精度輪廓尺寸測量儀是全自動檢測儀器，所以在測量時只需要檢定人員簡單操作即可完成對工件的測量。測量精度高，量程大，測量速度快，智能化應用與檢定軟件相結合，保護測針和測量系統，儀器操作靈活自如，可以大大提高測量工作效率。

中圖儀器W1光學全自動三次元輪廓測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高，且其隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重復性。

?輪廓形狀測量儀SJ5700是測量輪廓形狀及表面粗糙度的一體機，具備分析測量輪廓形狀和表面租糙度的強大功能。實現尺寸、形狀、粗糙度三個要素的精準測量。用于測量各種零件的直線度、傾斜度、角度處理、圓度處理、雙溝處理、雙圓弧處理等機械零件表面微觀幾何結構和宏觀幾何形狀的參數。

中圖儀器SJ5700精確輪廓測量儀采用高精度納米光柵測量系統，X/Y/Z軸分辨力可達0.001μm，測量精度高；采用高精度導軌系統，導軌直線度高，導軌材料耐磨性好、保證系統穩定可靠工作；高性能伺服電機驅動系統，保證測量穩定性高、重復性好。