中圖儀器SuperViewW1三維粗糙度輪廓測量儀以白光干涉技術為原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
中圖儀器SJ5800二維粗糙度輪廓測量儀能實現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。可廣泛應用于精密機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金等行業(yè), 對零件表面,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測,是大曲面測量(軸承、人工關節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子)領域精細粗糙度測量的利器。
SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
SJ5800中圖高精度粗糙度輪廓儀能實現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。能滿足軸承行業(yè)絕大部分測量需求,除了圓柱滾子軸承的錐面直線度、粗糙度以及圓柱滾子的凸度分析,也支持其他軸承測量與結果分析。
SuperViewW1中圖光學3D表面輪廓儀器基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
SuperViewW系列3D輪廓儀三維形貌儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
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