兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加，在某些區域始終加強，在另一些區域則始終削弱，形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件：只有兩列光波的頻率相同，位相差恒定，振動方向一致的相干光源，才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨立光源發出的光，不可能具有相同的頻率，更不可能存在固定的相差，因此，不能產生穩定干涉現象。

　　機床激光干涉儀的原理是激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

　　若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

　　機床激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。