XL激光頭射出的頻率為f0,經過反射鏡反射回來到激光頭內的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率fr=f0。當反射鏡以v=dx/dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了2vt，反射波fr的數值會減少或增加2v/λ0，λ0為激光波長。

　　機床激光干涉儀的性能特點都有哪些呢？

　　1、激光穩頻精度通過熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內，達到3年內精度保持在±0.05ppm（百萬分之一）。

　　2、線性測量精度在整個環境范圍內，即從0℃-40℃（32F-104F）和650毫巴-1150毫巴的范圍內，精度為±0.5ppm。可以高達50kHZ頻率讀取數據，高線性測量速度可達4m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達1nm。

　　3、儀器內置的USB意味著激光系統與計算機之間無需單獨的接口。

　　4、激光頭前部的一排LED狀態指示燈顯示激光狀態和信號強度，相當于將屏幕軟件上的“狀態顯示”擴展到激光頭上。

　　5、可以在標準(40m)和長(80m)距離模式之間切換。

　　6、模擬I/O端口允許模擬信號輸出和觸發信號輸入。

　　7、預熱時間少于6分鐘；外接開關電源允許輸入電壓在90V-264V之間變化。

　　8、六種測量維度，機床激光干涉儀系統不僅可以進行線性、角度、直線度、回轉軸、平面度以及垂直度的測量，還可用于機器振動、頻譜分析、運動速度及角速度測量分析等動態場合。它廣泛應用在數控機床及坐標測量機精度檢測、計量器具（包括部分光學儀器）的溯源檢定及其他大范圍、高精度、高速動態測量等工業領域。