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激光干涉儀主要應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的測(cè)量與校準(zhǔn)

更新時(shí)間:2022-06-20      點(diǎn)擊次數(shù):816
   激光干涉儀是一種以光波為載體,主要應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的測(cè)量與校準(zhǔn),分為靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量。靜態(tài)測(cè)量功能可以測(cè)量線性位移、小角度、直線度、垂直度、平行度、平面度;動(dòng)態(tài)測(cè)量功能可以進(jìn)行位移、速度、加速度的測(cè)量與分析,以及FFT分析。其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),是迄今*的高精度、高靈敏度的幾何量測(cè)量?jī)x器。
  
  儀器采用塞曼穩(wěn)頻或者其他方式將單頻激光分為兩個(gè)振動(dòng)方向互相垂直,具有一定頻差的激光輸出。其中,分一部分光作為參考光,參考光的頻率差為f1-f2,另一部分光由激光頭出射,同樣通過(guò)偏振分光棱鏡PBS,可以將兩個(gè)振動(dòng)方向互相垂直的線偏振光分開(kāi),一束頻率為f1的光由固定角錐反射返回,另一束頻率為f2的光作為測(cè)量光,由移動(dòng)角錐反射,在返回時(shí)由于多普勒效應(yīng),相應(yīng)的光頻變化為f2±△f。
  
  激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。
  
  該儀器主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的測(cè)量與校準(zhǔn),如數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)等領(lǐng)域;也可用于教學(xué)和科研,如引力波探測(cè)、重力加速度試驗(yàn)、微觀檢測(cè)和納米研究等。
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