激光干涉儀可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量
更新時間:2022-05-23 點擊次數(shù):665
激光干涉儀基于激光多普勒原理,采用激光外差干涉技術(shù)和光纖傳輸技術(shù),通常由控制器、光纖、干涉儀、被測鏡、上位機軟件等部件組成,它可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量,比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。
其主要功能包括:
定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等,通過配合使用球桿儀,還能夠測量數(shù)控機床的回轉(zhuǎn)量,從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。
隨著智能制造技術(shù)的不斷深入,檢測成為了生產(chǎn)過程中越來越重要的一環(huán),而位移測量是非常重要的一種檢測。通常而言,設(shè)備的檢測精度要達到加工精度的3倍以上,比方說要加工出3μm的精度,則檢測精度至少要1μm以下,因此位移測量系統(tǒng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。
原理及特點:
它可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量,比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。
1、采用交流放大器,更穩(wěn)定,抗環(huán)境干擾力更強;
2、采用高倍電子細分,可達納米級分辨率;
3、采用光纖傳輸,裝調(diào)更便捷,更容易實現(xiàn)多軸同步測量;
4、最大測量速度可達5m/s;
5、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。
目前常用的位移測量系統(tǒng)有光柵、容柵、磁柵、激光干涉儀等,其中以激光干涉儀的精度最高,是微納位移測量的*。按照技術(shù)路線不同,激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和激光干涉儀;按結(jié)構(gòu)不同,也可分為傳統(tǒng)激光干涉儀(空間光傳輸)和光纖激光干涉儀。