主要用途是測量目標的運動狀態(tài)，即目標的線性位移大小、旋轉角度（滾轉、俯仰和偏擺）、直線度、垂直度、兩個目標在運動的平行性（度）、平面度等。無論=機臺，還是數(shù)控機床的導軌（包括激光加工機床），不論是飛行物，還是靜止物的熱膨脹、變形，一旦需要高精度，都要用激光干涉儀測量，得到目標的運動狀態(tài)。

　　隨著數(shù)控機床應用的普及，國產(chǎn)激光干涉儀檢測數(shù)控機床的精度已成為一種高精度的檢測手段。在不同的機床上，用激光干涉測量相同的精度曲線，需要對檢測結果進行科學的分析。以下是儀器的維護事項分析，與大家一起探討有效的方法。

　　維護：

　　1.儀器放置在干燥干凈的室內，防止振動。移動時，儀器應固定底座，防止導軌變形。

　　2.不使用光學零件時，應存放在干凈干燥的盆中，以防發(fā)霉。反射鏡和分光鏡一般不允許擦洗。需要擦拭時，先用備件刷仔細擦去灰塵，然后用脫脂棉球滴酒精輕輕擦拭。

　　3.傳動部件應潤滑良好。特別是導軌、螺桿、螺母和軸孔部分，用儀表油潤滑。

　　4.在使用過程中，各調節(jié)部位應用力適中，不得有強旋、硬拉。

　　5.導軌上的絲杠應防止劃傷和生銹。使用后，得失油。

　　6.儀器零件經(jīng)調整后，應涂紅漆，不得隨意轉動。