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SJ6000激光干涉儀如何測量平行度

更新時間:2021-04-06      點擊次數:1363

SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。

平行度測量原理

平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成,參見下面平行度測量光路原理構件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。

平行度測量配置

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

平行度測量應用

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